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SiPDR(单柱介电谐振腔)用于测量超材料和电阻膜的表面阻抗,以及用于半导体晶片的电导率的非接触式测量;可以测量的薄膜材料范围包括表面阻抗Rs <20kΩ/sq的电阻层、金属薄膜和导电聚合物薄膜。
对于半导体晶片,电阻率测量的上限约为1000Ωcm。 具有较高电阻率值的半导体可以使用该谐振器方便地进行测量。所有SiPDR(单柱介电谐振腔)都是定制的。
类型
参数
厚度为h的样品的测量精度
±2%
工作频率
5 GHz
工作温度范围
-270°C 至 110°C
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